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低溫冷凍機的低溫冷凍機

真空濺鍍是材料表面處理的重要方法之一，目前，高產(chǎn)能的連續(xù)化真空濺鍍生產(chǎn)線已成為防EMI 的主導(dǎo)設(shè)備，其主要包括以 DIP 作主真空泵，BP+RP 作前級泵實現(xiàn)真空腔體的高真空（10-3Pa量級），氬氣作氣源，開關(guān)電源供電，磁控陰極靶源等。這種生產(chǎn)線具有加工成本低、生產(chǎn)效率高且環(huán)保無污染等優(yōu)點而得到廣泛應(yīng)用。連續(xù)化真空濺鍍生產(chǎn)線始端有 2 個過渡真空腔體，前者是低真空過渡腔體，后者是高真空過渡腔體。前者由大氣壓力向低真空過渡，此過程速度較快，不影響整條生產(chǎn)線節(jié)拍；后者由低真空向高真空過渡，此環(huán)節(jié)是整條生產(chǎn)線中慢的，尤其是在多雨季節(jié)。要加快此節(jié)拍，目前通常做法有三：一是加大抽真空設(shè)備功率；二是設(shè)置容積塊，縮小腔體自由空間；三是設(shè)置深冷泵，加快達到高真空。通過初步對比研究，我們認(rèn)為，加大抽真空設(shè)備功率，收效小，耗能高，不經(jīng)濟；設(shè)置容積塊，受腔體結(jié)構(gòu)制約，效果差，維護保養(yǎng)不便；采用超低溫冷凍機對生產(chǎn)線進行改造，達到高真空壓力時間可大為縮短，功耗增加不大，維護方便。

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