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低溫冷凍機的低溫冷凍機


 
       真空濺鍍是材料表面處理的重要方法之一,目前,高產能的連續化真空濺鍍生產線已成為防EMI 的主導設備,其主要包括以 DIP 作主真空泵,BP+RP 作前級泵實現真空腔體的高真空 (10-3Pa量級),氬氣作氣源,開關電源供電,磁控陰極靶源等。這種生產線具有加工成本低、生產效率高且環保無污染等優點而得到廣泛應用。連續化真空濺鍍生產線始端有 2 個過渡真空腔體,前者是低真空過渡腔體,后者是高真空過渡腔體。前者由大氣壓力向低真空過渡,此過程速度較快,不影響整條生產線節拍;后者由低真空向高真空過渡,此環節是整條生產線中慢的,尤其是在多雨季節。要加快此節拍,目前通常做法有三:一是加大抽真空設備功率;二是設置容積塊,縮小腔體自由空間;三是設置深冷泵,加快達到高真空。通過初步對比研究,我們認為,加大抽真空設備功率,收效小,耗能高,不經濟;設置容積塊,受腔體結構制約,效果差,維護保養不便;采用超低溫冷凍機對生產線進行改造,達到高真空壓力時間可大為縮短,功耗增加不大,維護方便。




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