屬零件進行淬火處理后，其奧氏體在常溫下不能完全轉變成馬氏體，殘余奧氏體在零件的使用過程中，會緩慢的進行馬氏體轉變，同時伴隨著體積的膨脹，這樣，就會使零件的尺寸發生變化，影響到零件的正常使用，低溫處理是將淬火處理后的金屬工件的溫度比較迅速的降低至較低溫度范圍（-70℃～-80℃），以消除金屬零件內的殘余奧氏體，使零件尺寸穩定性提高，同時提高金屬的機械性能的一種方法，廣泛應用于軸承，軸類零件、精密配合零件等的后續處理，也是零件縮裝的一種很有效辦法。

    金屬零件進行－120℃～－190℃超低溫處理后，其馬氏體基體中析出大量彌散高的超細碳化物，并且使殘余奧氏體幾乎全部轉變為馬氏體，組織更細化，從而提高了零件的硬度和強度，特別是紅硬性和耐磨性的提高，使得模具、工具等壽命成倍增長，此工藝方法是國外熱處理后續處理的普遍方法，在我國已在逐步推廣。